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FS-70
378系列-半導(dǎo)體檢測(cè)用顯微鏡
日本三豐品牌 MITUTOYO 378-185-4 顯微鏡
特點(diǎn)：
1、此光學(xué)系統(tǒng)*初是為了暢銷的FS60型（后升級(jí)為FS70型）而開發(fā)的。它作為測(cè)量檢測(cè)半導(dǎo)體器件的顯微鏡是很理想的。
2、FS70L支持3種YAG激光波長(zhǎng)（1064nm,532nm,355nm），F(xiàn)S70L4支持2種波長(zhǎng)（532nm,266nm），可在半導(dǎo)體和液晶基板中使用薄膜激光切割技術(shù)。這就擴(kuò)大了激光的使用范圍。然而，使用三豐量具對(duì)顯微鏡的激光系統(tǒng)的性能和**性，三豐公司不負(fù)責(zé)任。我們推薦在選購激光發(fā)射器時(shí)應(yīng)仔細(xì)檢查。
3、FS70Z的標(biāo)準(zhǔn)功能有：亮視場(chǎng)，微分干涉對(duì)比（DIC）和偏振觀測(cè)。FS70L和FS70L4不支持DIC。
4、使用內(nèi)置式轉(zhuǎn)換器使得長(zhǎng)工作距離物鏡的操作很簡(jiǎn)單。
5、極易操作的設(shè)計(jì)：FS70采用正像光學(xué)系統(tǒng)（視場(chǎng)中的像與樣品方向相同）并用橡膠把手加大微調(diào)手輪。
技術(shù)參數(shù)：
對(duì)焦
方法：有同心粗調(diào)和微調(diào)手輪（左和右）
范圍：50mm測(cè)量范圍，微調(diào)0.1mm/rev.同心，粗調(diào)3.8mm/rev.
三目鏡筒圖像：正像
瞳距：Siedentopf型
調(diào)節(jié)范圍：51-76mm
視場(chǎng)數(shù)：24
俯角：0°-20°（僅用于-TH，-THS型號(hào)）
照明系統(tǒng)：亮視場(chǎng)反射照明（科勒照明、帶孔徑光闌）
光源：12V100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié)，光導(dǎo)長(zhǎng)度1.5m、功耗150W
物鏡（選件）：M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo
性能參數(shù)：
|
型號(hào) |
FS70 |
FS70-TH |
FS70Z |
FS70Z-TH |
FS70L |
FS70-TH |
FS70L4 |
FS70L4-TH |
|
貨號(hào) |
378-184-1 |
378-184-3 |
378-185-1 |
378-185-3 |
378-186-1 |
378-186-3 |
378-187-1 |
378-187-3 |
|
短基座型號(hào) |
FS70-S |
FS70-THS |
FS70Z-S |
FS70Z-THS |
FS70L-S |
FS70L-THS |
FS70L4-S |
FS70L4-THS |
|
貨號(hào) |
378-184-2 |
378-184-4 |
378-185-2 |
378-185-4 |
378-186-2 |
378-186-4 |
378-187-2 |
378-187-4 |
|
對(duì)焦 |
50mm行程，同心焦距粗調(diào)（3.8mm/rev）和微調(diào)（0.1mm/rev）輪（左、右） |
|||||||
|
圖像 |
正像 |
|||||||
|
瞳距 |
Siedentopf型，調(diào)節(jié)范圍:51-76mm |
|||||||
|
視場(chǎng)數(shù) |
24 |
|||||||
|
俯角 |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
—— |
0°-20° |
|
透過率 |
50/50 |
100/0或 0/100 |
50/50 |
100/0或 0/100 |
100/0或0/100 |
100/0或0/100 |
||
|
保護(hù)性濾光片 |
—— |
—— |
內(nèi)置激光射線濾光片 |
內(nèi)置激光射線濾光片 |
||||
|
光管鏡頭 |
1X |
1X-2X焦距型 |
1X |
1X |
||||
|
適用激光 |
—— |
—— |
1064/532/355mm |
532/266mm |
||||
|
相機(jī)端口 |
C-mount （使用適配器B選件） |
使用帶有電視端口的激光器 |
C-mount插座（帶有綠色濾光片轉(zhuǎn)換開關(guān)） |
|||||
|
照明系統(tǒng)（選件） |
亮視場(chǎng)反身照明（科勒照明、帶孔徑光闌） 12V 100W光纖、無極亮度調(diào)節(jié)、光導(dǎo)長(zhǎng)度：1.5m,功耗150W |
|||||||
|
物鏡選件（用于觀察） |
M Plan Apo,M Plan Apo SL,G Plan Apo
|
|||||||
|
物鏡選件（用于激光切割） |
—— |
M/LCD Plan NIR M/LCD Plan NU |
M Plan UV |
|||||
|
載重* |
14.5kg |
13.6kg |
14.1kg |
13.2kg |
14.2kg |
13.5kg |
13.9kg |
13.1kg |
|
重量（主機(jī)） |
6.1kg |
7.1kg |
14.1kg |
7.5kg |
6.4kg |
7.2kg |
6.7kg |
7.5kg |
*光管的載重不包括物鏡鏡頭和目鏡的重量
